一種利用化學(xué)腐蝕和化學(xué)鍍的雙參數(shù)測(cè)量光纖光柵傳感器,適用于光纖傳感。其特征在于:該傳感器是由相位掩膜法制成的光纖布拉格光柵,它被均勻分成兩部分,光纖布拉格光柵的左半部分(1)被氫氟酸溶液腐蝕直徑變細(xì),并在左半部分上鍍上一層金屬(2),光纖布拉格光柵的右半部分(3)保持不變。該傳感器的制作步驟為:采用相位掩模板法制作光纖布拉格光柵;將布拉格光柵左半部分放入氫氟酸溶液中腐蝕;在腐蝕后的光纖布拉格光柵表面吸附一層易氧化物質(zhì);在腐蝕后的光纖布拉格光柵表面生成一層薄金屬層;對(duì)腐蝕后的光纖布拉格光柵進(jìn)行化學(xué)鍍金屬。該傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,容易制作;溫度和應(yīng)力傳感靈敏度得到了提升;可以實(shí)現(xiàn)雙參數(shù)的同時(shí)測(cè)量。
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