本發(fā)明提出一種用于生物醫(yī)學(xué)
電化學(xué)檢測的三維微電極結(jié)構(gòu)及其制作方法。利用微加工技術(shù),在襯底表面制作犧牲層和具有一定內(nèi)應(yīng)力的雙層金屬結(jié)構(gòu),通過去除犧牲層,將制作于襯底表面的微電極金屬釋放,使其通過本身的內(nèi)應(yīng)力作用產(chǎn)生背離襯底表面的翹曲,從而形成一種三維立體微電極結(jié)構(gòu)。該三維微電極與將流體有更好的接觸,且在相同的電極尺寸下增大了微電極與流體的有效接觸面積。
聲明:
“用于生物醫(yī)學(xué)電化學(xué)檢測的三維微電極及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)