本發(fā)明涉及超精密加工技術(shù)領(lǐng)域領(lǐng)域,特別是涉及一種化學(xué)機(jī)械拋光狀況的在線檢測(cè)裝置,摩擦力檢測(cè)裝置與被檢測(cè)設(shè)備的拋光輪連接;摩擦力檢測(cè)裝置用于檢測(cè)工件所受的摩擦力;拋光液狀況檢測(cè)裝置包括設(shè)置在被檢測(cè)設(shè)備的拋光液儲(chǔ)液罐內(nèi)的拋光液ORP傳感器;拋光液ORP傳感器用于檢測(cè)拋光液狀況;壓力檢測(cè)裝置、拋光墊表面狀況檢測(cè)裝置和工件表面狀況檢測(cè)裝置均設(shè)置在被檢測(cè)設(shè)備上;壓力檢測(cè)裝置用于檢測(cè)工件所受的壓力;拋光墊表面狀況檢測(cè)裝置用于檢測(cè)拋光墊表面狀況;工件表面狀況檢測(cè)裝置用于檢測(cè)工件表面狀況,從而實(shí)現(xiàn)化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備加工效率的提升,降低廢品率。
聲明:
“化學(xué)機(jī)械拋光狀況的在線檢測(cè)裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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