一種檢測硫酸、磷酸化學(xué)拋光液中硫酸、磷酸濃度的方法,屬于溶液檢測方法技術(shù)領(lǐng)域。包括如下步驟:取a?ml化學(xué)拋光槽液與純凈水按固定比例進(jìn)行定容,比例值b為20;取少量定容溶液,分為等體積的兩份,通過儀器不斷加入1mol/L氫氧化鈉溶液進(jìn)行酸堿中和反應(yīng),檢測消耗的氫氧化鈉體積;其中,對第一份溶液進(jìn)行檢測,得到V1,V1是第一個化學(xué)計量點(diǎn):PH=4.7時消耗的氫氧化鈉的體積;同理,得到第二份溶液的V2,V2是第二個化學(xué)計量點(diǎn):PH=9.7時消耗的氫氧化鈉的體積;根據(jù)公式分別計算化學(xué)拋光液中硫酸、磷酸的質(zhì)量。本發(fā)明可精確控制化學(xué)拋光液中磷酸和硫酸的濃度,減小槽液更換周期,降低成本。
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“檢測硫酸、磷酸化學(xué)拋光液中硫酸、磷酸濃度的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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