本實用新型涉及一種用于化學(xué)機械拋光裝置的在線終點檢測系統(tǒng),包括位于化學(xué)機械拋光裝置上的傳感器、數(shù)據(jù)采集器和工控機,其中傳感器包括檢測拋光盤轉(zhuǎn)速的速度檢測傳感器和用來檢測電機電流的電流檢測傳感器,所述速度檢測傳感器和電機電流檢測傳感器的輸出端均通過接入數(shù)據(jù)采集器與工控機連接。本實用新型所述用于化學(xué)機械拋光裝置的在線終點檢測系統(tǒng)能夠?qū)瘜W(xué)機械拋光工藝進行實時、靈敏的在線終點檢測,且能精確檢測到化學(xué)機械拋光工藝的結(jié)束點。
聲明:
“用于化學(xué)機械拋光裝置的在線終點檢測系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)