本發(fā)明實施例提出了一種基于淺溝道隔離技術(shù)的化學(xué)機械研磨終點檢測方法，包括：建立晶圓表面微元與研磨墊間相對滑動速度和微元所受摩擦力之間的函數(shù)方程；求解函數(shù)方程，將微元所受摩擦力代入研磨墊轉(zhuǎn)矩公式，建立晶圓和可調(diào)節(jié)研磨墊轉(zhuǎn)矩與研磨驅(qū)動裝置機械參數(shù)間的函數(shù)關(guān)系；依據(jù)材質(zhì)差異所導(dǎo)致的摩擦系數(shù)的不同，分析研磨墊表面特征對晶圓形貌變化的影響，通過研磨墊轉(zhuǎn)矩與研磨驅(qū)動裝置機械參數(shù)間的函數(shù)關(guān)系識別研磨終點，實現(xiàn)終點檢測。本發(fā)明提出的上述方案，通過考察晶圓和研磨墊間的摩擦因素來分析轉(zhuǎn)矩變化，深入分析研磨工藝制程中晶圓與隨機波動粗糙墊板間的相互作用關(guān)系，直接通過研磨墊轉(zhuǎn)矩即可識別因材質(zhì)差異所導(dǎo)致的研磨去除率的不同，從而可以靈活地實現(xiàn)終點檢測。