目前化學(xué)過濾器在IC,TFT,OLED,PDP等電子廠房普遍采用。但化學(xué)過濾器的壽命目前還沒合適的現(xiàn)場測試的辦法。目前常用的檢查方法是分別對化學(xué)過濾器的進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口進(jìn)行化學(xué)氣氛的采樣,然后對采樣的樣本拿到實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行分析。如果分析的結(jié)果顯示進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口的化學(xué)氣氛的濃度基本上沒變化了,就說明該達(dá)到了化學(xué)過濾器的使用壽命。但是,這種檢測方式不能進(jìn)行在線檢測,并且檢測成本高、周期長并且需要使用昂貴的實(shí)驗(yàn)分析儀器。本實(shí)用新型的目的就在于針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供一種檢測成本低、實(shí)時(shí)性好、使用便捷、操作簡單的化學(xué)過濾器壽命檢測裝置。
聲明:
“便于維護(hù)的化學(xué)過濾器在線實(shí)時(shí)檢測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)