一種化學氣相沉積裝置,其包含有一加熱支撐座(heating holder)設置于一反應室內,一淋氣頭(shower head)平行設置于該加熱支撐座的上方,且該加熱支撐座與該淋氣頭構成一電容,以及一反應室狀態(tài)檢測裝置(chamber condition detector),分別與該加熱支撐座與該淋氣頭電連接,該反應室狀態(tài)檢測裝置包含有一電阻,且該電阻與該電容串聯(lián)構成一RC電路。
聲明:
“具有檢測反應室狀態(tài)功能的化學氣相沉積裝置及檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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