本發(fā)明提供一種決定過度研磨時間的方法,包含步驟有:將予以研磨的多個特性送入化學機械研磨系統(tǒng)中,進行研磨以取得各別的過度研磨時間與終點檢測時間;相關所得過度研磨時間與終點檢測時間,推導出一最佳化公式,并且,將該最佳化公式存入該化學機械研磨系統(tǒng)中;及將所予進行研磨之特性的厚度輸入,即可取得精確的過度研磨時間。
聲明:
“決定化學機械研磨的過度研磨時間的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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