本申請(qǐng)公開(kāi)了一種微元件的轉(zhuǎn)移裝置及轉(zhuǎn)移方法,所述轉(zhuǎn)移裝置包括:轉(zhuǎn)移基板,所述轉(zhuǎn)移基板包括自所述轉(zhuǎn)移基板的至少一表面凸起的多個(gè)探針;控制電路,與多個(gè)所述探針連接,用于控制多個(gè)所述探針進(jìn)行作業(yè),多個(gè)所述探針獨(dú)立吸附或者釋放選定的微元件。通過(guò)上述方式,本申請(qǐng)能夠在批量轉(zhuǎn)移過(guò)程中實(shí)現(xiàn)對(duì)每一顆微元件進(jìn)行單獨(dú)操作。
聲明:
“一種微元件的轉(zhuǎn)移裝置及轉(zhuǎn)移方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)