本實用新型提供一種晶圓級微透鏡陣列的測試結(jié)構(gòu)及其測試裝置,測試結(jié)構(gòu)包括:晶圓放置組件和透光組件;晶圓放置組件包括外支撐環(huán)以及鏤空區(qū)域,用于放置形成有微透鏡陣列單元的待測晶圓,外支撐環(huán)邊緣具有缺口且包含限位邊界和放置臺階;透光組件,位于晶圓放置組件的一側(cè)表面,正對鏤空區(qū)域設(shè)置,邊緣固定于外支撐環(huán)。測試結(jié)構(gòu)用于將待測晶圓放置于鏤空區(qū)域,光源透過透光層產(chǎn)生具有測試圖形光場,檢測待測晶圓上微透鏡的解析力和漏光等性能。測試裝置通過測試結(jié)構(gòu)進行微透鏡性能檢測,將拍攝到的待測晶圓的測試圖像與標準圖像比較,獲得測試結(jié)果,并根據(jù)測試結(jié)果輸出測試圖譜,定位有缺陷的微透鏡陣列單元的位置。
聲明:
“晶圓級微透鏡陣列的測試結(jié)構(gòu)及其測試裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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