本實(shí)用新型涉及一種改進(jìn)型偏轉(zhuǎn)束流測(cè)量系統(tǒng),該加速腔中心設(shè)有中心區(qū)偏轉(zhuǎn)板,該中心區(qū)偏轉(zhuǎn)板的四周均勻設(shè)有磁鐵及D型盒,磁鐵上連接有剝離靶,中心區(qū)偏轉(zhuǎn)板的中心設(shè)有測(cè)量設(shè)備,該測(cè)量設(shè)備引出一測(cè)量線到剝離靶上,該剝離靶經(jīng)轉(zhuǎn)換盒與PLC控制器連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型能夠在中心區(qū)偏轉(zhuǎn)板上檢測(cè)到注入束流,再對(duì)比注入法拉第束流,就可以看出二者的束流比,根據(jù)注入束流、偏轉(zhuǎn)束流、效率可以間接判斷出離子源的性能,解決了離子源性能檢測(cè)困難的問(wèn)題,不需要拆卸離子源到制造工廠進(jìn)行檢測(cè)。
聲明:
“一種改進(jìn)型偏轉(zhuǎn)束流測(cè)量系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)