本發(fā)明公開了一種行波管用微型濺射離子泵的抽速裝置及其抽速測(cè)定方法,本發(fā)明所述的行波管用微型濺射離子泵的抽速裝置,結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,操作方便,測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確。本發(fā)明提供的微型濺射離子泵的抽速測(cè)定方法,可操作性強(qiáng),計(jì)算結(jié)果準(zhǔn)確,可快速準(zhǔn)確的測(cè)定行波管用微型濺射離子泵的抽速,本發(fā)明可在1×10-3~1×10-4Pa壓力下,測(cè)試氣體為氮?dú)鈺r(shí),對(duì)微型濺射離子泵的抽速的測(cè)定范圍為1~8L/s,可為微型濺射離子泵的性能檢測(cè)提供科學(xué)依據(jù)。
聲明:
“行波管用微型濺射離子泵的抽速裝置及其抽速測(cè)試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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