本發(fā)明實(shí)施例提供了一種自動掃描水模體系統(tǒng)定位性能檢測裝置。該裝置包括:X軸向和Y軸向運(yùn)動檢測裝置,Z軸向運(yùn)動檢測裝置,探測器運(yùn)動軌跡延長裝置,支架;所述X軸向和Y軸向運(yùn)動檢測裝置包括X軸向的主尺、游標(biāo)和第一激光位移傳感器,所述游標(biāo)安裝在所述主尺上,所述第一激光位移傳感器安裝在所述游標(biāo)上;所述Z軸向運(yùn)動檢測裝置包括高度尺和第二激光位移傳感器,所述第二激光位移傳感器安裝在所述高度尺上;所述探測器運(yùn)動軌跡延長裝置跟隨所述自動掃描水模體系統(tǒng)的探測器移動支架移動;所述X軸向和Y軸向運(yùn)動檢測裝置和所述Z軸向運(yùn)動檢測裝置安裝在所述支架上。實(shí)現(xiàn)了非接觸方式檢測探測器的定位性能,測量結(jié)果的準(zhǔn)確性更高。
聲明:
“自動掃描水模體系統(tǒng)定位性能測量裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)