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一種用于光刻機調(diào)焦系統(tǒng)性能評價的裝置及方法

860 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 06:26:12

一種用于光刻機調(diào)焦系統(tǒng)性能評價的裝置和方法,其特點是:裝置的運動系統(tǒng)將粗動系統(tǒng)和精動系統(tǒng)分開設計,在滿足水平X向和垂向大行程運動及垂向高精度定位的同時保證了裝置拆裝靈活性和擴展性,保證控制精度的同時減少控制的復雜程度,實現(xiàn)了垂向大行程高精度的精密運動控制,保證了被評價調(diào)焦系統(tǒng)的測量光斑可以在硅片上的任意位置,實現(xiàn)了檢測靈活性,對調(diào)焦系統(tǒng)性能評價方法和流程簡便,可在精動系統(tǒng)一個行程內(nèi)將調(diào)焦的重復性和精度全部驗證完畢,節(jié)省時間,代碼實現(xiàn)簡便,同時整套裝置亦可用于其他系統(tǒng)垂向性能檢測和評價。

聲明：

“一種用于光刻機調(diào)焦系統(tǒng)性能評價的裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)