一種用于紫外光刻機(jī)的光束整形元件的光學(xué)性能的檢測(cè)裝置和檢測(cè)方法,裝置的構(gòu)成包括可見激光器,在該可見激光器輸出激光的方向同光軸地依次設(shè)有擴(kuò)束鏡組、分束鏡、第一遠(yuǎn)場(chǎng)成像透鏡、可調(diào)光闌或CCD圖像傳感器、第二遠(yuǎn)場(chǎng)成像透鏡和第二能量傳感器。本發(fā)明適用于任何紫外波段的光束整形元件的光學(xué)性能檢測(cè),而且具有成本低,使用簡(jiǎn)便,測(cè)量快速的特點(diǎn)。
聲明:
“光束整形元件光學(xué)性能的檢測(cè)裝置和檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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