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以無機(jī)鹽為前驅(qū)物L(fēng)PCVD技術(shù)制備透明導(dǎo)電氧化物薄膜玻璃的方法

1048   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:25:56
本發(fā)明公開了一種以無機(jī)鹽為前驅(qū)物L(fēng)PCVD技術(shù)制備透明導(dǎo)電氧化物薄膜玻璃的方法,包括玻璃清洗、光學(xué)檢測、鍍膜、性能檢測、成品制成5個步驟,其鍍膜方式為:將制備透明導(dǎo)電氧化物薄膜的金屬無機(jī)鹽前驅(qū)物配制成澄清飽和水溶液,利用鼓泡器和載氣N2將其溶液載入到LPCVD鍍膜室中,控制無機(jī)鹽前驅(qū)物與N2的流量比、鍍膜室中的壓力、鍍膜室溫度及玻璃基底溫度,在玻璃基底上沉積生成透明導(dǎo)電氧化物薄膜。本發(fā)明以金屬無機(jī)鹽代替有機(jī)前驅(qū)物制備透明導(dǎo)電氧化物薄膜玻璃,避免了有機(jī)物對膜層的污染,保證了鍍膜玻璃的優(yōu)異性能,易于產(chǎn)業(yè)化,為透明導(dǎo)電氧化物薄膜玻璃的發(fā)展提供了一種新思路。
聲明:
“以無機(jī)鹽為前驅(qū)物L(fēng)PCVD技術(shù)制備透明導(dǎo)電氧化物薄膜玻璃的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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