本實(shí)用新型公開(kāi)了集成電路制造領(lǐng)域的一種靜電卡盤(pán)基本性能檢測(cè)裝置。所述裝置由驅(qū)動(dòng)裝置、傳動(dòng)裝置、拉力傳感器、溫度測(cè)量裝置、靜電卡盤(pán)、真空腔室、真空獲得裝置和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)組成。本裝置實(shí)現(xiàn)了靜電力大小測(cè)量、晶圓脫附時(shí)間測(cè)量和晶圓表面溫度測(cè)量三項(xiàng)功能的綜合集成;原理簡(jiǎn)單、結(jié)構(gòu)緊湊,可有效節(jié)省空間;適應(yīng)性廣,可用于等離子體環(huán)境中,能有效保證真空腔室的密封性;操作方便,不會(huì)造成晶圓變形和破損,測(cè)量精度高。
聲明:
“一種靜電卡盤(pán)基本性能檢測(cè)裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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