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一種真空環(huán)境下靜壓氣體軸承的性能檢測(cè)裝置及其使用方法

917   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:22:39
一種真空環(huán)境下靜壓氣體軸承的性能檢測(cè)裝置及其使用方法,它至少由:真空室、供氣管、供氣壓力調(diào)節(jié)閥、加載砝碼、位移傳感器、承載面、支架、底座、放氣閥、電阻規(guī)I、插板閥I、分子泵I、分子泵I固定架、真空室排氣管I、真空室排氣管II、機(jī)械泵I、隔斷電磁閥I、壓差閥I、分子泵II固定架、分子泵II、壓差閥II、軸承排氣管I、軸承排氣管II、機(jī)械泵II、隔斷電磁閥II、插板閥II、調(diào)平支架、軸承排氣管III、靜壓氣體軸承、電阻規(guī)II、靜壓氣體軸承排氣槽、靜壓氣體軸承排氣孔、靜壓氣體軸承供氣孔和靜壓氣體軸承供氣槽組成,本發(fā)明可以檢測(cè)真空環(huán)境下不同供氣壓力和氣膜厚度靜壓氣體軸承的承載能力和潤(rùn)滑氣體的泄漏量。
聲明:
“一種真空環(huán)境下靜壓氣體軸承的性能檢測(cè)裝置及其使用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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