本實用新型公開了一種微型電子集成電路測試流片用性能檢測裝置,包括檢測單元,所述檢測單元由支撐腳、支撐腿、工作板、檢測主體、檢測臺組成,所述工作板的下方設置有除塵單元,所述除塵單元由伸縮軟管、風機、吹氣腔體組成,所述工作板的下方設置有控制單元,所述控制單元由通道、卡座、連接架、動力齒輪、齒條、滑槽、動力電機、滑塊組成。本實用新型中,設置了除塵單元、控制單元,除塵單元可以將檢測臺表面上的灰塵進行清理,清理效果良好,保證檢測的正常進行、結果誤差較小,使用方便,控制單元可以控制吹氣腔體移動,可以對檢測臺的各個部位進行除塵,除塵的比較全面,同時,也可以定點除塵,使用靈活方便。
聲明:
“一種微型電子集成電路測試流片用性能檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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