本發(fā)明涉及材料電學(xué)性能檢測(cè)領(lǐng)域，具體涉及一種基于范德堡法的高通量微區(qū)電學(xué)性能檢測(cè)系統(tǒng)及檢測(cè)方法。檢測(cè)系統(tǒng)包括樣品臺(tái)、檢測(cè)機(jī)構(gòu)和位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。樣品臺(tái)用于放置待檢測(cè)的樣品；檢測(cè)機(jī)構(gòu)具有多根探針，用于利用范德堡法對(duì)樣品進(jìn)行檢測(cè)；位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于在檢測(cè)過程中自動(dòng)調(diào)整探針與樣品臺(tái)的相對(duì)位置，以使探針能夠?qū)悠返牟煌^(qū)進(jìn)行檢測(cè)。檢測(cè)方法基于檢測(cè)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。其能夠?qū)Ω咄康臉悠愤M(jìn)行檢測(cè)，與高通量實(shí)驗(yàn)技術(shù)更加匹配，使高通量實(shí)驗(yàn)技術(shù)實(shí)現(xiàn)整體的提速。位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化調(diào)節(jié)，代替了人工調(diào)節(jié)，效率大大提高，與高通量檢測(cè)的匹配度更高。