真空發(fā)生器性能檢測(cè)設(shè)備，包括試驗(yàn)臺(tái)和氣源，試驗(yàn)臺(tái)上設(shè)置有穩(wěn)流裝置、進(jìn)氣流量控制裝置、出氣流量控制裝置、壓力測(cè)試裝置和真空測(cè)試單元；穩(wěn)流裝置的入口與氣源相連，出口有兩路，一路出口與進(jìn)氣流量控制裝置相連，一路出口與壓力測(cè)試裝置相連；真空測(cè)試單元連接在進(jìn)氣流量控制裝置和出氣流量控制裝置之間，進(jìn)氣流量控制裝置與壓力測(cè)試裝置相連；真空測(cè)試單元包括真空發(fā)生器，試驗(yàn)臺(tái)上設(shè)置有控制終端，控制終端與進(jìn)氣流量控制裝置、出氣流量控制裝置和壓力測(cè)試裝置相連。一種真空發(fā)生器進(jìn)行性能檢測(cè)的檢測(cè)方法，該方法操作簡(jiǎn)單，采用該方法可以實(shí)現(xiàn)真空發(fā)生器真空度、空氣消耗量、最大吸入流量、真空度-吸入流量特性的檢測(cè)。