本發(fā)明公開了一種
多晶硅鑄錠爐保護(hù)氣循環(huán)系統(tǒng),進(jìn)氣管的出口處設(shè)置有螺旋槳,石墨護(hù)罩上設(shè)置有排氣孔,排出的尾氣經(jīng)集氣罩集氣后通過排氣管排出至爐體外部,并導(dǎo)入至吸收器內(nèi)的吸收液內(nèi),且吸收器具有攪拌器用于攪拌吸收液;經(jīng)吸收后的尾氣經(jīng)干燥器干燥后導(dǎo)入至尾氣回收罐,并通過進(jìn)氣管及螺旋槳循環(huán)進(jìn)入石墨護(hù)罩腔室內(nèi)。該發(fā)明使得保護(hù)氣形成有效的螺旋流動(dòng)并帶動(dòng)硅液流動(dòng)而有效排出雜質(zhì),廢氣經(jīng)集氣后排出至吸收器進(jìn)行吸收一氧化碳,凈化后的保護(hù)氣經(jīng)干燥后進(jìn)入回收罐以重復(fù)使用,有效避免了一氧化碳?xì)怏w進(jìn)入大氣而導(dǎo)致危害發(fā)生,且凈化后的保護(hù)氣可以重復(fù)回收使用而降低了使用成本。
聲明:
“多晶硅鑄錠爐保護(hù)氣循環(huán)系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)