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適用于半導體制造設備的廢氣處理系統(tǒng)及半導體制造設備

1118 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 05:34:42

本實用新型涉及廢氣處理領域，提供一種適用于半導體制造設備的廢氣處理系統(tǒng)及半導體制造設備。適用于半導體制造設備的廢氣處理系統(tǒng)包括若干封閉室，各封閉室內(nèi)設置有真空泵和廢氣處理裝置；排風管路，流體連通于封閉室；消防管路，流體連通于封閉室。該適用于半導體制造設備的廢氣處理系統(tǒng)能夠節(jié)省建筑施工成本，還能夠將廢氣處理裝置產(chǎn)生的熱量以及潛在的廢氣及時排走，能夠火情進行及時的消除。降低了相關技術中半導體制造設備的廢氣處理系統(tǒng)中容易出現(xiàn)的火災、爆炸等危險事宜出現(xiàn)的可能性，提高了半導體制造設備的廢氣處理系統(tǒng)的安全處理能力。

聲明：

“適用于半導體制造設備的廢氣處理系統(tǒng)及半導體制造設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)