本發(fā)明公開了一種
多晶硅生產過程中副產物的再利用方法,以多晶硅副產物為原料,通過采用不同的
儲能物質,制備不同溫度的系列相變
儲能材料,將氣化的副產物在常溫下與聚乙二醇水溶液中的水發(fā)生水解反應,溶膠-凝膠反應,生成氯化氫和三維網絡結構的二氧化硅凝膠,包覆有相變儲能材料的二氧化硅凝膠經旋風干燥器烘干后制得相變儲能材料產品,氯化氫經鹽酸溶液氯化鈣提濃解析和四氯化硅淋洗塔除水,制得含水量小于0.05%的氯化氫,直接進入多晶硅生產系統(tǒng)用于制備三氯氫硅,與四氯化硅氫化技術配套使用,形成多晶硅生產物料的全閉路循環(huán)和副產物的全資源化,實現多晶硅生產的“
固廢和廢氣”的趨零排放和清潔生產。
聲明:
“多晶硅生產過程中副產物的再利用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
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