本發(fā)明涉及一種PVT法中碳化硅粉源的回收方法,屬于晶體生長原料回收技術領域。為解決現(xiàn)有PVT法中碳化硅粉源無法回收再利用的問題,本發(fā)明提供了一種PVT法中碳化硅粉源的回收方法,首先通過靜電分離將PVT法碳化硅晶體生長過程中產(chǎn)生的固體混合物廢料中的富碳粉和石墨顆粒分離,向所得富碳粉中加入硅粉,反應得到碳化硅粉。與原有未經(jīng)PVT法生長使用的碳化硅粉末比較,雜質(zhì)含量幾乎沒有區(qū)別,甚至回收所得碳化硅粉的部分雜質(zhì)含量更低,實現(xiàn)了碳化硅粉源的回收。本發(fā)明通過PVT法中碳化硅粉源的回收再利用降低了碳化硅晶體生長的原料成本,而分離出的石墨顆粒經(jīng)過處理可作為碳化硅粉制備的原料,實現(xiàn)了分類回收利用。
聲明:
“PVT法中碳化硅粉源的回收方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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