一種半導(dǎo)體級氨水及硫酸回收循環(huán)制造方法,將半導(dǎo)體工業(yè)產(chǎn)生的大量廢酸液及硫酸銨回收處理導(dǎo)入一混合爐加熱,以產(chǎn)生混合氣體及混合液體,再制得高純度氨水及高純度硫酸,供半導(dǎo)體工業(yè)使用。該混合氣體包括氨氣及水氣經(jīng)純化后,產(chǎn)生高濃度的純氨氣,再用超純水吸收以產(chǎn)生一半導(dǎo)體級氨水。而混合液體則包括廢硫酸及水,導(dǎo)入一分解爐產(chǎn)生SO
2氣體;通過一含有催化劑的反應(yīng)器,后經(jīng)一連串有效反應(yīng)處理,以產(chǎn)生無金屬的高純度SO
3氣體,再加入一惰性氣體將SO
3氣體稀釋,并與高純度硫酸混合,過濾除去其固體雜質(zhì),即得一半導(dǎo)體級硫酸。
聲明:
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