本發(fā)明提供一種硅單晶金剛線切片用冷卻液回收處理工藝,包括以下步驟:將廢棄冷卻液與吸附材料混合,進(jìn)行誘導(dǎo)吸附;將混合后的廢棄冷卻液與吸附材料進(jìn)行固液分離;將分離出的液體進(jìn)行離子交換,得到再生冷卻液;將分離出的固體與堿液混合,進(jìn)行超細(xì)硅粉與吸附材料的脫附;將脫附后的固體進(jìn)行篩分過(guò)濾,分離出超細(xì)硅粉和吸附材料;將分離出的超細(xì)硅粉壓濾脫水,得到高純度超細(xì)硅粉;將分離出的吸附材料與酸溶液混合,得到再生吸附材料。本發(fā)明的有益效果是回收工藝先進(jìn),可以回收高品質(zhì)的冷卻液,并回收高純度的超細(xì)硅粉;運(yùn)行成本降低,使用的吸附材料使用量少、可再生,總體運(yùn)行成本為現(xiàn)有技術(shù)方法的1/3~1/5。
聲明:
“硅單晶金剛線切片用冷卻液回收處理工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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