本發(fā)明涉及氨氣的回收方法以及使用其的氨氣的再利用方法,提供可從廢氣中高效且容易地將氨氣回收并且再利用的方法,該廢氣由氮化鎵類化合物半導(dǎo)體的制造工序排出,氨氣含有率低。將廢氣進(jìn)行過(guò)濾器過(guò)濾而去除該廢氣中所含的固體化合物,然后進(jìn)行加壓處理以及基于熱泵的冷卻處理,將該廢氣中所含的氨氣液化而與氫氣和氮?dú)夥蛛x,將氨氣回收。另外,將所回收的液氨氣化,與和該氨氣不同的粗氨氣混合,然后將該混合氣體進(jìn)行精制而供給于氮化鎵類化合物半導(dǎo)體的制造工序。
聲明:
“氨氣的回收方法以及使用其的氨氣的再利用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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