本發(fā)明提供一種金屬用研磨液和使用其的被研磨膜的研磨方法,其能夠解決(A)由固體粒子所導(dǎo)致的損傷的產(chǎn)生,(B)碟陷、腐蝕等平坦性惡化的產(chǎn)生,(C)用以除去殘留于研磨后的基板表面上的研磨粒子的清洗工序的復(fù)雜性,(D)由于固體研磨粒子本身的成本及廢液處理而導(dǎo)致成本提高等問題,并且能夠以高的CU研磨速度進(jìn)行CMP。本發(fā)明提供一種金屬用研磨液,其含有:金屬的氧化劑、氧化金屬溶解劑、金屬防蝕劑、以及重均分子量大于等于8000的具有陰離子性官能基的水溶性聚合物,PH值為大于等于1且小于等于3。本發(fā)明還提供一種被研磨膜的研磨方法,其特征在于:一面將上述的金屬用研磨液供給至研磨平臺的研磨布上,一面于將具有被研磨金屬膜的基板按壓于研磨布上的狀態(tài)下使研磨平臺與基板相對移動,以進(jìn)行研磨。
聲明:
“金屬用研磨液以及被研磨膜的研磨方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)