本發(fā)明公開了一種從線切割廢砂漿中分離回收碳化硅和硅的方法,它是利用反應(yīng)和泡沫分離相結(jié)合的方法對硅晶材料的加工過程中廢砂漿中的硅和碳化硅進(jìn)行分離回收的節(jié)能環(huán)保的綠色工藝。它通過在固體砂料(硅和碳化硅)中加入氟化銨或氟化氫銨或氟化氫等溶液,使其與硅進(jìn)行部分反應(yīng),自身產(chǎn)生氣體,形成氣泡,硅粉吸附于氣泡表面,隨即被氣泡自動帶到液面上,達(dá)到硅和碳化硅分離的目的,同時(shí)分離液經(jīng)過濾后回收后可以返回重復(fù)使用。本發(fā)明分離回收方法快速有效、能耗低、成本低、溶劑回收簡單、產(chǎn)品硅和碳化硅的純度高、整個(gè)分離過程符合清潔環(huán)保的綠色生產(chǎn)要求,具有明顯的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益。
聲明:
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