本發(fā)明提供了一種處理三氯氫硅合成過程產生的廢棄硅粉的方法,包括以下步驟:(1)溶劑清洗:取廢棄硅粉,加入有機溶劑進行清洗,離心分離,分別收集離心溶液和沉淀物;(2)去離子水洗滌:用去離子水洗滌沉淀物,干燥,篩分,制得硅粉混合物;(3)酸浸:取步驟(2)中制得的硅粉混合物,加入酸液進行浸泡,離心分離固液,取固體進行去離子水洗滌,干燥,即得再生硅粉。本發(fā)明能夠處理含有油污和難溶性無機鹽的廢棄硅粉,將其回收利用制成高純度的再生硅粉,并重新用作三氯氫硅合成過程的原料,達到了資源回收再利用程度的最大化,具有巨大的經(jīng)濟效益和社會效益。
聲明:
“處理三氯氫硅合成過程產生的廢棄硅粉的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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