本發(fā)明公開了一種新型單晶硅切割廢砂漿再利用生產(chǎn)工藝,在回收廢砂漿中硅片切割液的同時(shí),也對(duì)其中的碳化硅微粉和單晶硅固體進(jìn)行了回收利用,回收率高?;厥盏墓杵懈钜壕哂信c新切割液相同的表面活性、懸浮力和攜帶力,該生產(chǎn)工藝流程簡便,建設(shè)運(yùn)行成本較低,管理簡單,能有效回收處理單晶硅切割廢砂漿。
聲明:
“新型單晶硅切割廢砂漿再利用生產(chǎn)工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)