本發(fā)明提供一種回收利用硅切割廢砂漿及硅渣的方法和所用裝置,本發(fā)明的方法主要是將硅切割廢砂漿分離出的固體硅渣與鹵素氣體、鹵化氫氣體或氫氣進行氣化反應,生成鹵
硅烷或硅烷,集硅切割廢渣的分離與有效轉換利用合為一體,同時生產(chǎn)出高附加值的工業(yè)原料,并可進一步利用反應余熱進行原料干燥和產(chǎn)品精餾提純,實現(xiàn)了硅切割廢砂漿大型、高效、節(jié)能、連續(xù)和低成本完全循環(huán)利用。
聲明:
“回收利用硅切割廢砂漿及硅渣的方法及所用裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)