本發(fā)明涉及改良西門子法
多晶硅生產(chǎn)中,廢棄氯
硅烷的回收方法,屬于多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域。包括以下步驟:1)收集廢棄氯硅烷輸送到儲(chǔ)液罐:2)儲(chǔ)液罐中的廢棄氯硅烷輸送到蒸發(fā)器中;3)蒸發(fā)器加熱:加熱至30-180℃使蒸發(fā)器內(nèi)氯硅烷汽化生產(chǎn)氯硅烷蒸汽,蒸發(fā)器中的殘留液進(jìn)行水解處理;4)汽化后的氯硅烷蒸汽與濕氣反應(yīng),雜質(zhì)反應(yīng)生成高沸物;5)氣體回收:氣體經(jīng)氣-固分離除去微量固體雜質(zhì),冷凝回收氯硅烷。采用本發(fā)明方法能夠?qū)⑸a(chǎn)過(guò)程中被污染的和雜質(zhì)含量高的氯硅烷雜質(zhì)去除,達(dá)到改良西門子法生產(chǎn)多晶硅工藝中氯硅烷原料雜質(zhì)含量要求,且成本低、環(huán)保,不需額外設(shè)備。
聲明:
“改良西門子法生產(chǎn)多晶硅中廢棄氯硅烷的回收方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)