一種用于凈化磷化氫氣體的固體處理劑,包括吸收劑和吸附劑;所述吸收劑為過氧化物;所述吸收劑附著在吸附劑的外表層;所述吸收劑占處理劑的質(zhì)量百分比為50~95%;所述吸附劑占處理劑的質(zhì)量百分比為5~50%。本發(fā)明的固體處理劑通過吸收劑將磷化氫氣體氧化成磷酸鹽,以及吸附劑吸收部分磷化氫氣體,從而達(dá)到進(jìn)化磷化氫氣體的目的;該固體處理劑用于凈化磷化氫氣體方便簡單,凈化效率高達(dá)99%以上,無二次污染,不產(chǎn)生廢液,對環(huán)境零污染。本發(fā)明還公開了一種用于凈化磷化氫氣體的裝置及使用方法。
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“用于凈化磷化氫氣體的固體處理劑、裝置及使用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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