本發(fā)明關(guān)于一種氫氧化四甲基銨的回收系統(tǒng)與方法,本發(fā)明的設(shè)備系統(tǒng)以及該流程主要是提供一種較為簡化的設(shè)置與流程,可以將氫氧化四甲基銨(TMAH)與該光阻劑分離,且以較為精簡的設(shè)備成本與流程提升氫氧化四甲基銨的純度,且進(jìn)一步降低排放出去的廢水對于環(huán)境的污染。
聲明:
“氫氧化四甲基銨的回收系統(tǒng)與方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)