本發(fā)明涉及一種金剛線切割晶體硅生產(chǎn)線的用水方法,所述金剛線切割晶體硅生產(chǎn)線攜帶的n臺線切機中,有i臺線切機的儲水罐使用純水配制循環(huán)液;所述金剛線切割晶體硅生產(chǎn)線攜帶的n臺線切機中,有j臺線切機的儲水罐使用水回收系統(tǒng)的生產(chǎn)用水配制循環(huán)液;所述水回收系統(tǒng)造成x%的水量損失;所述i+j=n;且x%?5%≤i/n×100%≤x%+5%。本發(fā)明通過在n臺線切機中選取i臺線切機使用純水調(diào)配循環(huán)液,作為切割的標準硅片,時時比較使用廢水回收的生產(chǎn)用水的j臺線切機的切割硅片是否合格,克服了現(xiàn)有技術(shù)由于COD檢測時間比較長,導致的取樣點與生產(chǎn)線切割用水不一致導致的切割硅片不合格的問題。 1
聲明:
“金剛線切割晶體硅生產(chǎn)線的用水方法及用水系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)