本發(fā)明提供一種回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐熱裂解氟硅酸鈉制備四氟化硅的工藝,將氟硅酸鈉在200℃~300℃下在煅燒爐內(nèi)干燥熱處理,除去其中的水份,煅燒爐內(nèi)維持負(fù)壓,負(fù)壓值控制在10~30mmH2O;將干燥后的氟硅酸鈉送入回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐,在500~900℃(物料溫度)下熱裂解1~2個(gè)小時(shí),熱裂解得到四氟化硅和氟化鈉。產(chǎn)生的四氟化硅氣體經(jīng)過除塵、冷卻、干燥、壓縮、收集高純的四氟化硅氣體。本發(fā)明工藝過程反應(yīng)物單一,無廢氣、廢水、廢渣排放,屬于環(huán)保綜合利用項(xiàng)目。
聲明:
“回轉(zhuǎn)反應(yīng)爐熱裂解氟硅酸鈉制備四氟化硅的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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