本說明書描述用于從廢水中去除季銨氫氧化物(例如四甲基氫氧化銨(TMAH))的系統(tǒng)和方法。所述系統(tǒng)和方法可以位于電子制造的現(xiàn)場,并生產(chǎn)TMAH溶液用于再利用。所述系統(tǒng)包括膜過濾單元、離子交換單元和電滲析單元(例如三室電滲析單元)。所述方法包括過濾廢水以優(yōu)先去除季銨氫氧化物以外的污染物。通過離子交換處理過濾的水,以生產(chǎn)具有增加濃度的季銨陽離子的再生流。通過電滲析處理再生流以形成季銨氫氧化物溶液。
聲明:
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