本實用新型揭示了一種半導體有機清洗設備的供水系統(tǒng),該供水系統(tǒng)的組成包括用于回收清洗廢水的加熱水箱,與加熱水箱排放管相連的清洗泵,以及從清洗泵連至工藝腔的出水管路,其中加熱水箱中設有與其中貯水直接接觸的電磁加熱系統(tǒng),且加熱水箱中設有測量范圍高于60℃的水溫采集裝置。通過自動階梯式的電磁加熱保持水質,并且該加熱水箱還一個多套系統(tǒng)共用。應用本實用新型的技術方案,可以在滿足半導體清洗所用超純水要求下,省卻傳統(tǒng)系統(tǒng)的多個過濾器及電阻率測量裝置,從而節(jié)省了可觀的加工成本,大大增加了設備正常運行的時間。
聲明:
“半導體有機清洗設備的供水系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)