本實(shí)用新型涉及一種硅片逆流清洗槽,包括頂部敞口的槽體,槽體內(nèi)呈上下分布有若干頂部敞口的水盒,水盒水平設(shè)置且其一端為固定端并與相應(yīng)槽體內(nèi)壁固連、另一端為自由端并與相應(yīng)槽體內(nèi)壁之間留有第一間隙,相鄰兩水盒的固定端相反,每個(gè)水盒的上方均水平且轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有清洗輸送網(wǎng)帶,清洗輸送網(wǎng)帶沿對(duì)應(yīng)水盒的固定端至自由端輸送且其尾端延伸至第一間隙上方并與相應(yīng)槽體內(nèi)壁之間留有第二間隙,位于水盒上方的清洗輸送網(wǎng)帶的上半部分的上下方均設(shè)有中空的沖洗板,兩沖洗板相對(duì)的一側(cè)上均連通有若干噴頭,噴頭朝向?qū)?yīng)的水盒固定端向下傾斜設(shè)置。本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)對(duì)硅片的多次逆流清洗,并對(duì)清洗廢水有效回收再利用,清洗效果更佳,更加實(shí)用。
聲明:
“硅片逆流清洗槽” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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