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襯底及其回收再利用的方法

778   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 02:43:38
本發(fā)明提出了一種襯底及其回收再利用的方法,其中一種能夠回收再利用的襯底,包括:生長(zhǎng)襯底和預(yù)置轉(zhuǎn)換層,所述預(yù)置轉(zhuǎn)換層能夠?qū)⑺錾L(zhǎng)襯底轉(zhuǎn)換為反射襯底;其中一種襯底進(jìn)行回收再利用的方法,包括以下步驟:所述生長(zhǎng)襯底依次外延生長(zhǎng)所述預(yù)置轉(zhuǎn)換層和所述功能層,利用腐蝕液選擇性消除所述預(yù)置轉(zhuǎn)換層,所得的所述生長(zhǎng)襯底經(jīng)過表面處理步驟之后,進(jìn)行再利用,所得的所述功能層經(jīng)過表面處理步驟之后,通過沉積、光刻、刻蝕和蒸鍍制備介質(zhì)層和銀鏡,通過電鍍方式制備銅襯底。本發(fā)明的生長(zhǎng)襯底可以重復(fù)利用,節(jié)省成本;同時(shí)生長(zhǎng)襯底的As不會(huì)帶入后續(xù)工藝流程,降低工業(yè)廢水的污染治理成本,使得其具有明顯的技術(shù)先進(jìn)性和良好的經(jīng)濟(jì)效益。
聲明:
“襯底及其回收再利用的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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