一種用于制備多元素改性鋁化物涂層的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括真空反應(yīng)腔室、氣體供給控制系統(tǒng)以及真空與尾氣處理系統(tǒng)，其設(shè)備工藝參數(shù)靈活性提高，涂層成分靈活、可控，產(chǎn)品一致性良好，氣體供給控制系統(tǒng)的每一路工藝氣體管道上都依次設(shè)置有氣體減壓閥、體積流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器，實(shí)現(xiàn)化學(xué)氣相沉積工藝的高精度控制。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，無(wú)包埋工藝，無(wú)須涂后清洗，減少了工業(yè)廢水多的排放，能夠滿足改性鋁化物涂層工業(yè)生產(chǎn)和環(huán)保要求，特別是用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)膜冷渦輪葉片或地面發(fā)電用重型燃?xì)廨啓C(jī)透平葉片內(nèi)冷通道表面多元素改性鋁化物涂層的生產(chǎn)，涂層厚度均勻、葉片內(nèi)孔道表面涂層全覆蓋，同時(shí)保證葉片外表面無(wú)有害厚度的涂層生成。