本發(fā)明提出了一種BOE廢液在線再生的方法,包括:BOE廢液與氨或堿反應(yīng);再經(jīng)過雙極膜電滲析膜組處理;濃縮并精制為超純氨水;將氫氟酸稀液蒸餾提濃后,與超純濃硫酸混合,得到氟化氫氣體和稀硫酸;稀硫酸用電滲析分離為超純稀硫酸和廢液,再經(jīng)過加熱濃縮為超純濃硫酸和廢水,超純濃硫酸在本系統(tǒng)回用,廢液和廢水去
污水處理站;氟化氫氣體提純,得到超純氫氟酸溶液;與超純氨水按照比例配制為BOE原液,加入表面活性劑后,回到半導(dǎo)體產(chǎn)線。本發(fā)明在線再生BOE廢液,真正實(shí)現(xiàn)了變廢為寶,循環(huán)經(jīng)濟(jì),綠色環(huán)保的價(jià)值取向,適合工業(yè)化推廣應(yīng)用。
聲明:
“BOE廢液在線再生的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)