本發(fā)明公開了一種用于半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢水處理的電促生物反應(yīng)器及其使用方法，屬于污水處理技術(shù)領(lǐng)域。該反應(yīng)器包括進(jìn)水管、進(jìn)水泵、反應(yīng)器殼體、三維碳基電極組件、直流電源、攪拌裝置、泥水分離裝置、污泥回流管、污泥回流泵、排泥管、出水管、流量計(jì)；三維碳基電極組件以適當(dāng)間隔置于反應(yīng)器內(nèi)，并交替與直流電源的正、負(fù)極連接；污泥回流泵將反應(yīng)器內(nèi)的懸浮污泥經(jīng)回流管從水泥分離裝置底端回流至反應(yīng)器前端。本發(fā)明反應(yīng)器經(jīng)功能菌接種并啟動(dòng)運(yùn)行穩(wěn)定后，在連續(xù)流模式下運(yùn)行時(shí)，可以高效地實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢水中四甲基氫氧化銨分解以及其他難降解有機(jī)物的轉(zhuǎn)化，顯著提高污水可生化性，滿足了后續(xù)生化工藝對(duì)有機(jī)物高效去除和深度脫氮的需求。