本發(fā)明公開了一種零廢水排放的制備超純水的系統(tǒng)，包括預(yù)處理子系統(tǒng)、脫鹽子系統(tǒng)、精處理子系統(tǒng)和再生廢水預(yù)處理子系統(tǒng)；預(yù)處理子系統(tǒng)包括通過(guò)管道依次連接的原水儲(chǔ)罐、水泵、軟化過(guò)濾器、pH值調(diào)節(jié)罐、石英砂過(guò)濾器、活性炭過(guò)濾器、沸石過(guò)濾器和預(yù)處理水儲(chǔ)罐，脫鹽子系統(tǒng)包括一級(jí)反滲透主機(jī)和二級(jí)反滲透主機(jī)，精處理子系統(tǒng)為混床系統(tǒng)，再生廢水預(yù)處理子系統(tǒng)包括再生廢水中和池和蒸發(fā)結(jié)晶裝置。本發(fā)明的制備超純水的系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了超純水制備過(guò)程廢水零排放；制備超純水的系統(tǒng)包括混床，混床中的陽(yáng)樹脂和陰樹脂再生時(shí)產(chǎn)生的大量酸堿廢水不是如現(xiàn)有處理方式那樣排放到污水管網(wǎng)中，而是在本發(fā)明的系統(tǒng)中得到處理，并最終得到超純水。