本實(shí)用新型公開了半導(dǎo)體行業(yè)切割廢水回用為超純水的處理系統(tǒng),它包括彼此之間通過連接管路依次串聯(lián)相連的微孔過濾器、混凝沉降裝置、清水箱、超濾系統(tǒng)、紫外線消毒系統(tǒng)、一級(jí)反滲透系統(tǒng)、脫氣裝置、二級(jí)反滲透系統(tǒng)、中間水箱、連續(xù)電去離子系統(tǒng)和產(chǎn)水水箱,在紫外線消毒系統(tǒng)和一級(jí)反滲透系統(tǒng)之間的連接管路上通過加藥管線連接有加藥系統(tǒng)并裝有第一反滲透進(jìn)水泵,中間水箱的進(jìn)水口通過中間水管路與脫氣裝置的出水口相連。采用本系統(tǒng)可得到電阻高達(dá)18MOhm-cm以上的高品質(zhì)純水。該套系統(tǒng)整體回收率高達(dá)75%,整體投資成本較低。
聲明:
“半導(dǎo)體行業(yè)切割廢水回用為超純水的處理系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)