本發(fā)明利用膜分離技術(shù)處理硅片減薄劃片廢水,將廢水中的單晶硅濃縮回收,其中膜透過液作為混床進水回用到生產(chǎn)工藝上。根據(jù)本發(fā)明的一種硅片減薄劃片廢水處理方法,包括先采用精密過濾器所述硅片減薄劃片廢水,再采用中空纖維超濾裝置進行處理,獲得超濾透過液和濃縮液,最后所述超濾透過液進行深度脫鹽處理的過程。減薄劃片廢水經(jīng)過本發(fā)明回用處理,使水資源充分利用回收,節(jié)省了大量工業(yè)用水。
聲明:
“減薄劃片廢水的回用工藝和系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)