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厚度方向激勵剪切模式的聲學(xué)諧振器

982   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:22:22
本發(fā)明涉及一種厚度方向激勵剪切模式的聲學(xué)諧振器,包括:聲學(xué)鏡,包括至少一第一聲反射層和至少一第二聲反射層,各所述第一聲反射層的聲阻抗小于各所述第二聲反射層的聲阻抗;底電極層,位于所述聲學(xué)鏡上;壓電層,設(shè)于所述底電極層上,所述壓電層包括單晶材料的鈮酸鋰和/或單晶材料的鉭酸鋰;電極單元,設(shè)于所述壓電層上;橫向反射器,設(shè)于所述壓電層上,包括位于所述電極單元的第一側(cè)的第一反射器和位于所述電極單元的第二側(cè)的第二反射器,所述橫向反射器用于對聲波進(jìn)行橫向反射;其中,所述底電極層和電極單元用于形成電場。本發(fā)明可以在3GHz以上的頻率下具有高機(jī)電耦合系數(shù)和高Q值。
聲明:
“厚度方向激勵剪切模式的聲學(xué)諧振器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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